POZZATO, ALESSANDRO
POZZATO, ALESSANDRO
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Effect of nanoimprint on the elastic modulus of PMMA: Comparison between standard and ultrafast thermal NIL
2016-01-01 Pianigiani, Michele; Kirchner, Robert; Sovernigo, Enrico; Pozzato, Alessandro; Tormen, Massimo; Schift, Helmut
Sub-100 μs nanoimprint lithography at wafer scale
2015-01-01 Tormen, Massimo; Sovernigo, Enrico; Pozzato, Alessandro; Pianigiani, Michele; Tormen, Maurizio
Titolo | Data di pubblicazione | Autori | File |
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Effect of nanoimprint on the elastic modulus of PMMA: Comparison between standard and ultrafast thermal NIL | 1-gen-2016 | PIANIGIANI, MICHELESOVERNIGO, ENRICOPOZZATO, ALESSANDRO + | |
Sub-100 μs nanoimprint lithography at wafer scale | 1-gen-2015 | SOVERNIGO, ENRICOPOZZATO, ALESSANDROPIANIGIANI, MICHELE + |