Metallorganic chemical vapor deposition of Ta2O5 thin films / Porporati, A.; Roitti, Sergio; Sbaizero, Orfeo. - In: JOURNAL OF THE EUROPEAN CERAMIC SOCIETY. - ISSN 0955-2219. - 23(2):(2003), pp. 247-251. [10.1016/S0955-2219(02)00184-X]

Metallorganic chemical vapor deposition of Ta2O5 thin films

ROITTI, SERGIO;SBAIZERO, ORFEO
2003-01-01

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