Effect of energetic neutralized noble-gas ions on the structure of ion-beam sputtered thin metal-films / Kay, E.; Parmigiani, Fulvio; Parrish, W.. - In: JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY. A. VACUUM, SURFACES, AND FILMS. - ISSN 0734-2101. - 5:(1987), pp. 44-51.

Effect of energetic neutralized noble-gas ions on the structure of ion-beam sputtered thin metal-films

PARMIGIANI, FULVIO;
1987-01-01

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